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了解氯化氫氣體在特氣分類中的地位

返回  打印  發(fā)布時間:2018-2-5 點擊:7660

    大家都知道氯化氫氣體屬于特氣的一種,“特氣”,顧名思義就是特殊氣體。不管是毒性氣體還是易燃易爆氣體,或者是強腐蝕性的氣體,都算是特殊氣體。
    獨特氣體,簡稱特氣,具有以下分類及注意事項
   (1)易燃性氣體 把自燃、易燃、可燃氣體等都界說為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只需與空氣觸摸就會焚燒,當環(huán)境溫度到達一守時,PH3與B2 H6等氣體也會發(fā)作自燃。可燃易燃氣體都有必定的著火焚燒爆破規(guī)模,即上限、下限值。此規(guī)模越大的氣體起爆破焚燒風險性就越高,如B 2H6的爆破上限為98%,爆破下限為0.9%。歸于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
   (2)毒性氣體(Toxic Gas):如氯化氫氣體,半導體制造職業(yè)中運用的氣體許多都是對人體有害、有毒的。其間又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)別離只 需50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因而在儲存、運送以及運用的進程中都需求特別的當心。通常都應該采納特定的技能措施來操控運用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都歸于毒性氣體。
   (3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常一起也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在枯燥狀態(tài)下通常不易腐蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性,如氯化氫氣體, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
   (4)惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體自身通常不會直接對人體發(fā)作損傷,在氣體傳輸進程中,關聯(lián)于安全上的需求不如以上其他氣體嚴厲。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)作走漏會使人窒息而形成工傷事故。歸于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
   (5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強的氧化性,通常一起具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。歸于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
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