超高純度電子特氣凈化--氯化氫

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電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對(duì)電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。目前國(guó)內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進(jìn)口，自身的技術(shù)水準(zhǔn)（6N）與國(guó)際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。本項(xiàng)目將設(shè)計(jì)和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對(duì)MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列，50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級(jí)提高到ppb、ppt級(jí)，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對(duì)氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷，提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項(xiàng)目將形成有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化問題。氯化氫

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