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工業(yè)上如何純化氯化氫氣體雜質(zhì)

返回  打印  發(fā)布時(shí)間:2020-11-21 點(diǎn)擊:9367

       工業(yè)上,在節(jié)接近常壓下,實(shí)質(zhì)上有兩種從氯化氫中去除雜質(zhì)氣體的方法。一種方法是用水或稀鹽酸吸收氯化氫。其廢氣由于不溶于液相而從設(shè)備中排出。得到的濃鹽酸于108℃共沸蒸餾而放出弄氯化氫氣體。第二種方法也是建立在吸收氯化氫的基礎(chǔ)上,而解吸收則用硫酸或鹽酸溶液如CaCl2。兩種方法都能使氯化氫中氫的含量低于0.1%(體積)。

       氯化氫通常在精制設(shè)備中純化,經(jīng)壓縮和冷卻變?yōu)橐簯B(tài)氯化氫,將其貯存于壓力容器內(nèi)。工業(yè)上常用濃硫酸洗滌以除去氯化氫中夾帶的水分,在保持過(guò)程最佳工況的理想條件下,水分可降至0.01%(體積)以下。用固體CaCl2進(jìn)行精制時(shí),水分可降至0.01%(體積)以下。工業(yè)上較少采用含硅吸附劑(如耐酸沸石)干燥的方法。用沸石可使水分降至0.01%(體積)以下。
       電子工業(yè)中生產(chǎn)半導(dǎo)體元件時(shí),使用雜質(zhì)含量很低的氯化氫。特別有害的雜質(zhì)是水,它在氯化氫中的含量使用要求極其極限值為0.0005%至0.1%(體積)。其次為N2和H2等有害氣體,對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)按使用要求的不同,其上限為0.01%至0.1%(體積)。

氯化氫發(fā)貨

       工業(yè)上,精制填料的再生意味著與精制本身相當(dāng)?shù)幕蚋鼮槔щy的操作。即使不考慮再生時(shí)強(qiáng)腐蝕物質(zhì)的存在,由于再生操作導(dǎo)致精制系統(tǒng)在結(jié)構(gòu)上和材料選擇上都是很困難的,這一事實(shí)也必然在過(guò)程的經(jīng)濟(jì)上反映出來(lái)。上述精制過(guò)程的另一缺點(diǎn)是必需精確地遵守預(yù)定的操作條件。一旦短時(shí)間地提高流量,就會(huì)降低精制效果。而短時(shí)間地通過(guò)濕氯化氫則會(huì)引起設(shè)備局部污染,并且設(shè)備內(nèi)壁就會(huì)成為鹽酸蒸汽長(zhǎng)期的二次污染源。類(lèi)似的情況還可能由于精制填料的落入,造成精制設(shè)備的污染,從而導(dǎo)致對(duì)產(chǎn)品的污染。目前在工業(yè)規(guī)模上尚未廣泛實(shí)現(xiàn)的另一可能方法是低溫下使水冷凝的方法。其主要困難是氯化氫中的水蒸氣在冷卻器的自由空間呢,由于水蒸氣的瞬間過(guò)飽和而生成鹽酸氣溶膠。而氣溶膠被氯化氫氣流帶出冷卻器,并組件蒸發(fā)。一般形成的冷卻系統(tǒng)對(duì)氣體流量、它的組成、冷卻介質(zhì)的流量及其溫度的變化都是非常敏感的。與其它干燥系統(tǒng)比較,這里的濕氯化氫更易于造成設(shè)備的局部污染。

       在精制設(shè)備中純化的缺點(diǎn)是需要對(duì)精制裝置的填料進(jìn)行周期性再生,以及要處理生成的腐蝕性殘?jiān)?/span>

       所有精制操作都是從欲純化的氣體中除去某些組分。與此同時(shí),特別是在高溫及腐蝕介質(zhì)作用下,也會(huì)使純凈的氣體中來(lái)自設(shè)備材質(zhì)或輔助性材料的組分富集起來(lái),這些物質(zhì)造成的二次污染具有顯著的影響。
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