高純氯化氫常被用于電子工業(yè)中外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕，清除鈉離子；還用于金屬表面化學處理；激光用混合氣，膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。

    以石油化工副產(chǎn)物氯化氫作為原料來制備高純度氯化氫。石油化工副產(chǎn)氯化氫所，其中水含量低，對不銹鋼和碳鋼基本無腐蝕，但其中通常會含有達1000ppm甚至更多的乙炔和乙烯雜質(zhì)。對于此種氣體的凈化通常采用精餾或吸附的方法，但由于其中乙炔和乙烯雜技的沸點與氯化氫的沸點相近，很難采用精餾的方法脫除得較干凈，而吸附方法操作過程煩瑣，需要頻繁的更換吸附劑，生產(chǎn)成本高。因此在生產(chǎn)工藝中應(yīng)用催化劑存在的條件下，乙炔、乙烯與氯化氫反應(yīng)轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的相對氯化氫沸點較高的易于脫除的鹵代烴，再用精餾法脫除。

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